Identificação e medida de elementos e sua localização baseadas no fato de que a emissão de raios X emitidos por um elemento excitado por um feixe de elétrons tem um comprimento de onda característico daquele elemento e uma intensidade relacionada com sua concentração. É feita por um microscópio eletrônico acoplado a um espectrômetro de raio x em modo de varredura ou transmissão.Fonte: DeCS. Disponível em: https://decs.bvsalud.org